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  为了减少澳门威斯人娱乐495com靶中的气孔,加强溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶的密度不但影响溅射速率,而且影响薄膜的电学和光学性能。靶密度越高,薄膜性能越好。另外,加强靶材的密度和强度可以使靶材可以承受溅射过程中的热应力。密度也是目标的关键性能指标之一。
  通常目标材料是多晶结构,晶粒尺寸可以从微米到毫米。对于澳门威斯人娱乐495com靶,小晶粒靶材的溅射速率比大晶粒靶材快,而小晶粒差靶材(均匀分布)沉积的薄膜厚度分布比较均匀。

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